ตั้งแต่ปี 1895การวินิจฉัยรังสีเอกซ์และเทคโนโลยีการรักษามีการพัฒนาอย่างรวดเร็วและความคืบหน้าหลักสามารถแบ่งออกเป็นขั้นตอนต่อไปนี้:
(1)ไอออนx- rayหลอดเวที( 1895~1912)
นี่คือระยะแรกของอุปกรณ์เอ็กซเรย์ ในเวลานั้นโครงสร้างของเครื่องเอ็กซเรย์นั้นง่ายมาก มันใช้ก๊าซที่มีประสิทธิภาพต่ําที่มีท่อเอ็กซ์เรย์แคโทดไอออนเย็นใช้ขดลวดเหนี่ยวนําขนาดใหญ่เพื่อสร้างแรงดันไฟฟ้าสูงชิ้นส่วนแรงดันสูงที่สัมผัสและไม่มีอุปกรณ์ควบคุมที่แม่นยํา เครื่องเอ็กซเรย์มีความจุน้อยประสิทธิภาพต่ําพลังเจาะที่อ่อนแอความคมชัดของภาพที่ไม่ดีและการขาดการป้องกัน จากบันทึกข้อมูลพบว่าภาพอุ้งเชิงกรานเอ็กซเรย์ถ่ายในเวลานั้นและใช้เวลาการเปิดรับแสงนานถึง 40 ถึง 60 นาที ผลที่ได้คือภาพถ่าย หลังจากประสบความสําเร็จผิวของตัวแบบก็ถูกเผาโดยรังสีเอกซ์
(2)อิเล็กทรอนิกส์x- rayหลอดเวที( 1913~1928)
ด้วยการพัฒนาแม่เหล็กไฟฟ้าเทคโนโลยีสูญญากาศสูงและสาขาวิชาอื่น ๆ ในปี 1910 นักฟิสิกส์ชาวอเมริกัน W.D. Coolidge เผยแพร่รายงานเกี่ยวกับการผลิตหลอดเอ็กซ์เรย์เส้นใยทังสเตนที่ประสบความสําเร็จ จริง ๆ แล้วใช้ในปี 1913 คุณสมบัติที่ใหญ่ที่สุดคือเส้นใยทังสเตนถูกทําให้ร้อนเป็นสถานะไส้เพื่อให้อิเล็กตรอนที่จําเป็นสําหรับกระแสหลอดดังนั้นกระแสหลอดสามารถควบคุมได้โดยการปรับอุณหภูมิความร้อนของเส้นใยเพื่อให้แรงดันไฟฟ้าของหลอดและกระแสท่อสามารถปรับได้อย่างอิสระและนี่คือสิ่งที่จําเป็นต้องปรับปรุงคุณภาพของภาพ
การประดิษฐ์กริดในปี 1913 กําจัดรังสีกระจายบางส่วนและปรับปรุงคุณภาพของภาพ ในปี 1914 มีการสร้างหน้าจอฟอสฟอรัส cadmium tungstate และการประยุกต์ใช้การส่องกล้องเอ็กซเรย์เริ่มขึ้น หลอดเอ็กซเรย์โฟกัสคู่ถูกคิดค้นขึ้นในปี 1923 ซึ่งช่วยแก้ปัญหาความต้องการของการถ่ายภาพรังสีเอกซ์ พลังของหลอดเอ็กซเรย์สามารถเข้าถึงหลายกิโลวัตต์ความยาวด้านข้างของจุดโฟกัสสี่เหลี่ยมเพียงไม่กี่มิลลิเมตรและคุณภาพของภาพเอ็กซเรย์ได้รับการปรับปรุงอย่างมาก ในเวลาเดียวกันการใช้ตัวแทนความคมชัดอย่างค่อยเป็นค่อยไปได้ขยายขอบเขตของการวินิจฉัยรังสีเอกซ์อย่างต่อเนื่อง มันไม่ใช่เครื่องมือง่ายๆสําหรับการถ่ายภาพกระดูกอีกต่อไป แต่มันได้กลายเป็นเครื่องมือที่ดีสําหรับระบบทางเดินอาหารหลอดลมหลอดเลือดช่องไตกระเพาะปัสสาวะ ฯลฯ ในเนื้อเยื่อของมนุษย์และอวัยวะที่มีความคมชัดตามธรรมชาติที่ไม่ดี (ความแตกต่างเล็กน้อยในการดูดซึมรังสีเอกซ์) สิ่งอํานวยความสะดวกการวินิจฉัยทางการแพทย์ที่สําคัญที่สามารถตรวจสอบได้ ในเวลาเดียวกันรังสีเอกซ์ก็เริ่มถูกนํามาใช้ในการรักษา
